GB/T 24578-2009
Testmethode zur Messung der Oberflächenmetallkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (Englische Version)
- Standard-Nr.
- GB/T 24578-2009
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 2009
- Organisation
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Zustand
- 2017-01
- ersetzt durch
- GB/T 24578-2015
- Letzte Version
- GB/T 24578-2015
GB/T 24578-2009 Normative Verweisungen
- GB/T 14264-1993 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
- GB/T 2828.1-2003 Probenahmeverfahren für die Prüfung nach Merkmalen – Teil 1: Stichprobenpläne, indexiert nach der Akzeptanzqualitätsgrenze (AQL) für die Prüfung von Los zu Los
GB/T 24578-2009 Veröffentlichungsverlauf
- 2015 GB/T 24578-2015 Testmethode zur Messung der Oberflächenmetallkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie
- 2009 GB/T 24578-2009 Testmethode zur Messung der Oberflächenmetallkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie
