GB/T 30652-2014
Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie (Englische Version)
- Standard-Nr.
- GB/T 30652-2014
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 2014
- Organisation
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Zustand
- 2024-03
- ersetzt durch
- GB/T 30652-2023
- Letzte Version
- GB/T 30652-2023
GB/T 30652-2014 Normative Verweisungen
- GB 16483 Allgemeine Regeln für die Erstellung von Datenblättern zur Stoffsicherheit
- GB 190 Verpackungssymbol für gefährliche Güter
- GB 28654 Trichlorsilan für den industriellen Einsatz
- GB/T 191 Verpackung. Bildliche Kennzeichnung für den Warenumschlag
- GB/T 29056 Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie. Bestimmung des Bor-, Aluminium-, Phosphor-, Vanadium-, Chrom-, Mangan-, Eisen-, Kobalt-, Nickel-, Kupfer-, Arsen-, Molybdän- und Antimongehalts. Massenspektrometrische Methode mit induktiv gekoppeltem Plasma
- YS/T 987 Bestimmung des Kohlenstoffgehalts in Chlorsilanen mittels Gaschromatographie-Massenspektrometrie*， 2021-12-02 Aktualisieren
GB/T 30652-2014 Veröffentlichungsverlauf
- 2023 GB/T 30652-2023 Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie
- 2014 GB/T 30652-2014 Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie
