GB/T 29056-2012
Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie. Bestimmung des Bor-, Aluminium-, Phosphor-, Vanadium-, Chrom-, Mangan-, Eisen-, Kobalt-, Nickel-, Kupfer-, Arsen-, Molybdän- und Antimongehalts. Massenspektrometrische Methode mit induktiv gekoppeltem Plasma (Englische Version)

Standard-Nr.: GB/T 29056-2012
Sprachen: Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum: 2012
Organisation: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Letzte Version: GB/T 29056-2012

GB/T 29056-2012 Veröffentlichungsverlauf

2012 GB/T 29056-2012 Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie. Bestimmung des Bor-, Aluminium-, Phosphor-, Vanadium-, Chrom-, Mangan-, Eisen-, Kobalt-, Nickel-, Kupfer-, Arsen-, Molybdän- und Antimongehalts. Massenspektrometrische Methode mit induktiv gekoppeltem Plasma

Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie. Bestimmung des Bor-, Aluminium-, Phosphor-, Vanadium-, Chrom-, Mangan-, Eisen-, Kobalt-, Nickel-, Kupfer-, Arsen-, Molybdän- und Antimongehalts. Massenspektrometrische Methode mit induktiv gekoppeltem Plasma

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