DIN EN 62047-11:2014
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme (IEC 62047-11:2013); Deutsche Fassung EN 62047-11:2013
- Standard-Nr.
- DIN EN 62047-11:2014
- Erscheinungsdatum
- 2014
- Organisation
- German Institute for Standardization
- Zustand
- ersetzt durch
- DIN EN 62047-11:2014-04
- Letzte Version
- DIN EN 62047-11:2014-04
- Ersetzen
- DIN IEC 62047-11:2010
DIN EN 62047-11:2014 Normative Verweisungen
- ASTM E228-11 Standardtestmethode für die lineare Wärmeausdehnung fester Materialien mit einem Schubstangendilatometer*， 2024-03-31 Aktualisieren
- ASTM E289-04 Standardtestmethode für die lineare Wärmeausdehnung starrer Festkörper mit Interferometrie*， 2024-03-31 Aktualisieren
- ASTM E831-06 Standardtestmethode für die lineare Wärmeausdehnung fester Materialien durch thermomechanische Analyse*， 2024-03-31 Aktualisieren
DIN EN 62047-11:2014 Veröffentlichungsverlauf
- 2014 DIN EN 62047-11:2014-04 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme (IEC 62047-11:2013); Deutsche Fassung EN 62047-11:2013
- 2014 DIN EN 62047-11:2014 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme (IEC 62047-11:2013); Deutsche Fassung EN 62047-11:2013
- 0000 DIN IEC 62047-11:2010
