DIN EN 62047-11:2014-04
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme (IEC 62047-11:2013); Deutsche Fassung EN 62047-11:2013
- Standard-Nr.
- DIN EN 62047-11:2014-04
- Erscheinungsdatum
- 2014
- Organisation
- German Institute for Standardization
- Letzte Version
- DIN EN 62047-11:2014-04
DIN EN 62047-11:2014-04 Veröffentlichungsverlauf
- 2014 DIN EN 62047-11:2014-04 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme (IEC 62047-11:2013); Deutsche Fassung EN 62047-11:2013
- 2014 DIN EN 62047-11:2014 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme (IEC 62047-11:2013); Deutsche Fassung EN 62047-11:2013
- 0000 DIN IEC 62047-11:2010
