ISO 14644-10:2013
Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach chemischer Konzentration
- Standard-Nr.
- ISO 14644-10:2013
- Erscheinungsdatum
- 2013
- Organisation
- International Organization for Standardization (ISO)
- Zustand
- ersetzt durch
- ISO 14644-10:2022
- Letzte Version
- ISO 14644-10:2022
ISO 14644-10:2013 Normative Verweisungen
- ISO 14644-1 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit nach Partikelkonzentration*， 2015-12-01 Aktualisieren
- ISO 14644-6 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 6: Wortschatz
ISO 14644-10:2013 Veröffentlichungsverlauf
- 2022 ISO 14644-10:2022 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Bewertung der Oberflächenreinheit hinsichtlich chemischer Kontamination
- 2013 ISO 14644-10:2013 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach chemischer Konzentration
