ISO 14644-10:2022
Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Bewertung der Oberflächenreinheit hinsichtlich chemischer Kontamination

Standard-Nr.

ISO 14644-10:2022

Erscheinungsdatum

2022

Organisation

International Organization for Standardization (ISO)

Letzte Version

ISO 14644-10:2022

ISO 14644-10:2022 Veröffentlichungsverlauf

• 2022 ISO 14644-10:2022 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Bewertung der Oberflächenreinheit hinsichtlich chemischer Kontamination
• 2013 ISO 14644-10:2013 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach chemischer Konzentration