BS ISO 16413:2013
Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme mittels Röntgenreflektometrie. Instrumentelle Anforderungsausrichtung und -positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung

Standard-Nr.

BS ISO 16413:2013

Erscheinungsdatum

2013

Organisation

British Standards Institution (BSI)

Zustand

ersetzt werden 2020-08

ersetzt durch

BS ISO 16413:2020

Letzte Version

BS ISO 16413:2020

BS ISO 16413:2013 Veröffentlichungsverlauf

• 2020 BS ISO 16413:2020 Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme mittels Röntgenreflektometrie. Instrumentelle Anforderungen, Ausrichtung und Positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung
• 2013 BS ISO 16413:2013 Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme mittels Röntgenreflektometrie. Instrumentelle Anforderungsausrichtung und -positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung