BS ISO 16413:2020
Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme mittels Röntgenreflektometrie. Instrumentelle Anforderungen, Ausrichtung und Positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung
- Standard-Nr.
- BS ISO 16413:2020
- Erscheinungsdatum
- 2020
- Organisation
- British Standards Institution (BSI)
- Letzte Version
- BS ISO 16413:2020
BS ISO 16413:2020 Veröffentlichungsverlauf
- 2020 BS ISO 16413:2020 Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme mittels Röntgenreflektometrie. Instrumentelle Anforderungen, Ausrichtung und Positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung
- 2013 BS ISO 16413:2013 Bewertung der Dicke, Dichte und Grenzflächenbreite dünner Filme mittels Röntgenreflektometrie. Instrumentelle Anforderungsausrichtung und -positionierung, Datenerfassung, Datenanalyse und Berichterstattung
