DIN EN 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen (IEC 62047-13:2012); Deutsche Fassung EN 62047-13:2012
2012DIN EN 62047-13:2012-10 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen (IEC 62047-13:2012); Deutsche Fassung EN 62047-13:2012
2012DIN EN 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen (IEC 62047-13:2012); Deutsche Fassung EN 62047-13:2012