DIN EN 62047-13:2012-10
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen (IEC 62047-13:2012); Deutsche Fassung EN 62047-13:2012
- Standard-Nr.
- DIN EN 62047-13:2012-10
- Erscheinungsdatum
- 2012
- Organisation
- German Institute for Standardization
- Letzte Version
- DIN EN 62047-13:2012-10
DIN EN 62047-13:2012-10 Veröffentlichungsverlauf
- 2012 DIN EN 62047-13:2012-10 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen (IEC 62047-13:2012); Deutsche Fassung EN 62047-13:2012
- 2012 DIN EN 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen (IEC 62047-13:2012); Deutsche Fassung EN 62047-13:2012
