IEC 62047-10:2011/COR1:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien; Berichtigung 1
- Standard-Nr.
- IEC 62047-10:2011/COR1:2012
- Erscheinungsdatum
- 2012
- Organisation
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Letzte Version
- IEC 62047-10:2011/COR1:2012
IEC 62047-10:2011/COR1:2012 Veröffentlichungsverlauf
- 2012 IEC 62047-10:2011/COR1:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien; Berichtigung 1
- 2011 IEC 62047-10:2011 Dispositifs à semiconducteur – Dispositifs microélectromécaniques – Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS (Edition 1.0)
