ASTM E2245-11
Standardtestmethode für Restdehnungsmessungen dünner, reflektierender Filme mit einem optischen Interferometer
- Standard-Nr.
- ASTM E2245-11
- Erscheinungsdatum
- 2011
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM E2245-11e1
- Letzte Version
- ASTM E2245-11(2018)
ASTM E2245-11 Normative Verweisungen
- ASTM E2244 Standardtestmethode für Längenmessungen in der Ebene dünner, reflektierender Filme mit einem optischen Interferometer
- ASTM E2246 Standardtestmethode für Dehnungsgradientenmessungen dünner, reflektierender Filme mit einem optischen Interferometer
- ASTM E2444 Terminologie im Zusammenhang mit Messungen an dünnen, reflektierenden Filmen
- ASTM E2530 Standardpraxis zur Kalibrierung der Z-Vergrößerung eines Rasterkraftmikroskops bei Verschiebungsniveaus im Subnanometerbereich unter Verwendung von einatomigen Si(111)-Schritten
ASTM E2245-11 Veröffentlichungsverlauf
- 2018 ASTM E2245-11(2018) Standardtestmethode für Restdehnungsmessungen dünner, reflektierender Filme mit einem optischen Interferometer
- 2011 ASTM E2245-11e1 Standardtestmethode für Restdehnungsmessungen dünner, reflektierender Filme mit einem optischen Interferometer
- 2011 ASTM E2245-11 Standardtestmethode für Restdehnungsmessungen dünner, reflektierender Filme mit einem optischen Interferometer
- 2005 ASTM E2245-05 Standardtestmethode für Restdehnungsmessungen dünner, reflektierender Filme mit einem optischen Interferometer
- 2002 ASTM E2245-02 Standardtestmethode für Restdehnungsmessungen dünner, reflektierender Filme mit einem optischen Interferometer
