ASTM E2530-06
Standardpraxis zur Kalibrierung der Z-Vergrößerung eines Rasterkraftmikroskops bei Verschiebungsniveaus im Subnanometerbereich unter Verwendung von einatomigen Si(111)-Schritten

Standard-Nr.

ASTM E2530-06

Erscheinungsdatum

2006

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

zurückziehen 2015-01

Letzte Version

ASTM E2530-06

ASTM E2530-06 Veröffentlichungsverlauf

• 2006 ASTM E2530-06 Standardpraxis zur Kalibrierung der Z-Vergrößerung eines Rasterkraftmikroskops bei Verschiebungsniveaus im Subnanometerbereich unter Verwendung von einatomigen Si(111)-Schritten