DIN EN 62047-8:2011
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 8: Bandbiegeprüfverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme (IEC 62047-8:2011); Deutsche Fassung EN 62047-8:2011

Standard-Nr.
DIN EN 62047-8:2011
Erscheinungsdatum
2011
Organisation
German Institute for Standardization
Zustand
ersetzt durch
DIN EN 62047-8:2011-12
Letzte Version
DIN EN 62047-8:2011-12
Ersetzen
DIN IEC 62047-8:2008

DIN EN 62047-8:2011 Veröffentlichungsverlauf

  • 2011 DIN EN 62047-8:2011-12 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 8: Bandbiegeprüfverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme (IEC 62047-8:2011); Deutsche Fassung EN 62047-8:2011
  • 2011 DIN EN 62047-8:2011 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 8: Bandbiegeprüfverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme (IEC 62047-8:2011); Deutsche Fassung EN 62047-8:2011
  • 0000 DIN IEC 62047-8:2008
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 8: Bandbiegeprüfverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme (IEC 62047-8:2011); Deutsche Fassung EN 62047-8:2011



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