DIN EN 62047-8:2011-12
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 8: Bandbiegeprüfverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme (IEC 62047-8:2011); Deutsche Fassung EN 62047-8:2011
- Standard-Nr.
- DIN EN 62047-8:2011-12
- Erscheinungsdatum
- 2011
- Organisation
- German Institute for Standardization
- Letzte Version
- DIN EN 62047-8:2011-12
DIN EN 62047-8:2011-12 Veröffentlichungsverlauf
- 2011 DIN EN 62047-8:2011-12 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 8: Bandbiegeprüfverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme (IEC 62047-8:2011); Deutsche Fassung EN 62047-8:2011
- 2011 DIN EN 62047-8:2011 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 8: Bandbiegeprüfverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme (IEC 62047-8:2011); Deutsche Fassung EN 62047-8:2011
- 0000 DIN IEC 62047-8:2008
