JIS C 5630-2 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 2: Zugprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
JIS C 5630-6:2011 Veröffentlichungsverlauf
2011JIS C 5630-6:2011 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
JIS C 5630-6:2011 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien ha sido cambiado a GMKOREA EDS-M-4633-2014 15 % talkgefüllte Polypropylen- und EPDM-Gummimischung (Version 17; Englisch/Koreanisch).