JIS C 5630-2:2009
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 2: Zugprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

Standard-Nr.

JIS C 5630-2:2009

Erscheinungsdatum

2009

Organisation

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Letzte Version

JIS C 5630-2:2009

JIS C 5630-2:2009 Normative Verweisungen

• ISO 6892 Metallische Werkstoffe – Zugversuch bei Umgebungstemperatur

JIS C 5630-2:2009 Veröffentlichungsverlauf

• 2009 JIS C 5630-2:2009 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 2: Zugprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien