ASTM F1367-98(2011)
Standardspezifikation für Chrom-Sputtertargets für Dünnschichtanwendungen

Standard-Nr.

ASTM F1367-98(2011)

Erscheinungsdatum

1998

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Letzte Version

ASTM F1367-98(2011)

ASTM F1367-98(2011) Normative Verweisungen

• ASTM E112 Standardtestmethoden zur Bestimmung der durchschnittlichen Korngröße

ASTM F1367-98(2011) Veröffentlichungsverlauf

• 1998 ASTM F1367-98(2011) Standardspezifikation für Chrom-Sputtertargets für Dünnschichtanwendungen
• 1998 ASTM F1367-98(2003) Standardspezifikation für Chrom-Sputtertargets für Dünnschichtanwendungen
• 1998 ASTM F1367-98 Standardspezifikation für Chrom-Sputtertargets für Dünnschichtanwendungen