ASTM F1367-98
Standardspezifikation für Chrom-Sputtertargets für Dünnschichtanwendungen

Standard-Nr.

ASTM F1367-98

Erscheinungsdatum

1998

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F1367-98(2003)

Letzte Version

ASTM F1367-98(2011)

ASTM F1367-98 Veröffentlichungsverlauf

• 1998 ASTM F1367-98(2011) Standardspezifikation für Chrom-Sputtertargets für Dünnschichtanwendungen
• 1998 ASTM F1367-98(2003) Standardspezifikation für Chrom-Sputtertargets für Dünnschichtanwendungen
• 1998 ASTM F1367-98 Standardspezifikation für Chrom-Sputtertargets für Dünnschichtanwendungen