GB/T 24582-2009
Testverfahren zur Messung der Oberflächenmetallverunreinigung von polykristallinem Silizium durch Säureextraktion-induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie (Englische Version)

Standard-Nr.
GB/T 24582-2009
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2009
Organisation
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Zustand
 2024-03
ersetzt durch
GB/T 24582-2023
Letzte Version
GB/T 24582-2023

GB/T 24582-2009 Normative Verweisungen

  • ASTM D5127 Standardhandbuch für Reinstwasser zur Verwendung in der Elektronik- und Halbleiterindustrie
  • ISO 14644-1 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit nach Partikelkonzentration*2015-12-01 Aktualisieren
  • SEMI C30 SPEZIFIKATIONEN FÜR WASSERSTOFFPEROXID*2010-08-27 Aktualisieren

GB/T 24582-2009 Veröffentlichungsverlauf

  • 2023 GB/T 24582-2023 Bestimmung des Metallverunreinigungsgehalts auf der Polysiliciumoberfläche durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma und Säurelaugung
  • 2009 GB/T 24582-2009 Testverfahren zur Messung der Oberflächenmetallverunreinigung von polykristallinem Silizium durch Säureextraktion-induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie
Testverfahren zur Messung der Oberflächenmetallverunreinigung von polykristallinem Silizium durch Säureextraktion-induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie



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