GB/T 24582-2009 Testverfahren zur Messung der Oberflächenmetallverunreinigung von polykristallinem Silizium durch Säureextraktion-induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie (Englische Version)
ASTM D5127 Standardhandbuch für Reinstwasser zur Verwendung in der Elektronik- und Halbleiterindustrie
ISO 14644-1 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit nach Partikelkonzentration*, 2015-12-01 Aktualisieren
SEMI C30 SPEZIFIKATIONEN FÜR WASSERSTOFFPEROXID*, 2010-08-27 Aktualisieren
GB/T 24582-2009 Veröffentlichungsverlauf
2023GB/T 24582-2023 Bestimmung des Metallverunreinigungsgehalts auf der Polysiliciumoberfläche durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma und Säurelaugung
2009GB/T 24582-2009 Testverfahren zur Messung der Oberflächenmetallverunreinigung von polykristallinem Silizium durch Säureextraktion-induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie