GB/T 24582-2023 Bestimmung des Metallverunreinigungsgehalts auf der Polysiliciumoberfläche durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma und Säurelaugung (Englische Version)
2023GB/T 24582-2023 Bestimmung des Metallverunreinigungsgehalts auf der Polysiliciumoberfläche durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma und Säurelaugung
2009GB/T 24582-2009 Testverfahren zur Messung der Oberflächenmetallverunreinigung von polykristallinem Silizium durch Säureextraktion-induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie