GB/T 6617-2009
Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von Siliziumwafern mithilfe einer Ausbreitungswiderstandssonde (Englische Version)

Standard-Nr.
GB/T 6617-2009
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2009
Organisation
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Letzte Version
GB/T 6617-2009
Ersetzen
GB/T 6617-1995

GB/T 6617-2009 Normative Verweisungen

  • GB/T 14847 Prüfverfahren für die Dicke von leicht dotierten Silizium-Epitaxieschichten auf stark dotierten Siliziumsubstraten durch Infrarotreflexion*2011-01-10 Aktualisieren
  • GB/T 1550 Prüfverfahren für den Leitfähigkeitstyp von extrinsischen Halbleitermaterialien*2018-12-28 Aktualisieren
  • GB/T 1552 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von einkristallinem Silizium und Germanium mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array
  • GB/T 1555 Methode zur Bestimmung der Kristallorientierung eines Halbleiter-Einkristalls*2023-08-06 Aktualisieren

GB/T 6617-2009 Veröffentlichungsverlauf

  • 2009 GB/T 6617-2009 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von Siliziumwafern mithilfe einer Ausbreitungswiderstandssonde
  • 1995 GB/T 6617-1995 Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von Siliziumwafern mithilfe einer Ausbreitungswiderstandssonde
Testverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von Siliziumwafern mithilfe einer Ausbreitungswiderstandssonde



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