JIS C 5630-3:2009
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 3: Dünnschicht-Standardteststück für Zugversuche

Standard-Nr.

JIS C 5630-3:2009

Erscheinungsdatum

2009

Organisation

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Letzte Version

JIS C 5630-3:2009

JIS C 5630-3:2009 Normative Verweisungen

• JIS C 5630-2 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 2: Zugprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

JIS C 5630-3:2009 Veröffentlichungsverlauf

• 2009 JIS C 5630-3:2009 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 3: Dünnschicht-Standardteststück für Zugversuche