ASTM F1810-97
Standardtestverfahren zur Zählung bevorzugt geätzter oder dekorierter Oberflächenfehler in Siliziumwafern
- Standard-Nr.
- ASTM F1810-97
- Erscheinungsdatum
- 1997
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F1810-97(2002)
- Letzte Version
- ASTM F1810-97(2002)
ASTM F1810-97 Normative Verweisungen
- ASTM F1241
- ASTM F1725 Standardhandbuch zur Analyse der kristallographischen Perfektion von Siliziumbarren
- ASTM F1726 Standardhandbuch zur Analyse der kristallographischen Perfektion von Siliziumwafern
- ASTM F1727 Standardpraxis zur Erkennung von durch Oxidation verursachten Defekten in polierten Siliziumwafern
- ASTM F1809 Standardhandbuch für die Auswahl und Verwendung von Ätzlösungen zur Darstellung struktureller Defekte in Silizium
ASTM F1810-97 Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F1810-97(2002)
- 1997 ASTM F1810-97 Standardtestverfahren zur Zählung bevorzugt geätzter oder dekorierter Oberflächenfehler in Siliziumwafern
