ASTM F1152-93(2001)
Standardtestmethode für die Abmessungen von Kerben auf Siliziumwafern
- Standard-Nr.
- ASTM F1152-93(2001)
- Erscheinungsdatum
- 1993
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F1152-02
- Letzte Version
- ASTM F1152-02
ASTM F1152-93(2001) Normative Verweisungen
- ASTM E122 Standardverfahren zur Berechnung der Stichprobengröße, um mit einem angegebenen tolerierbaren Fehler den Durchschnitt der Merkmale einer Charge oder eines Prozesses zu schätzen*， 2000-10-10 Aktualisieren
ASTM F1152-93(2001) Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F1152-02
- 1993 ASTM F1152-93(2001) Standardtestmethode für die Abmessungen von Kerben auf Siliziumwafern
- 1993 ASTM F1152-93 Standardtestmethode für die Abmessungen von Kerben auf Siliziumwafern
