ASTM F1152-02
- Standard-Nr.
- ASTM F1152-02
- Erscheinungsdatum
- 1970
- Organisation
- /
- Letzte Version
- ASTM F1152-02
ASTM F1152-02 Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F1152-02
- 1993 ASTM F1152-93(2001) Standardtestmethode für die Abmessungen von Kerben auf Siliziumwafern
- 1993 ASTM F1152-93 Standardtestmethode für die Abmessungen von Kerben auf Siliziumwafern
