ASTM F1390-97
Standardtestmethode zur Messung der Verformung von Siliziumwafern durch automatisiertes berührungsloses Scannen

Standard-Nr.

ASTM F1390-97

Erscheinungsdatum

1997

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F1390-02

Letzte Version

ASTM F1390-02

ASTM F1390-97 Normative Verweisungen

• ASTM F1241 
• ASTM F657 

ASTM F1390-97 Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F1390-02
• 1997 ASTM F1390-97 Standardtestmethode zur Messung der Verformung von Siliziumwafern durch automatisiertes berührungsloses Scannen