ASTM F1239-94 Standardtestmethoden zur Sauerstoffpräzipitationscharakterisierung von Siliziumwafern durch Messung der interstitiellen Sauerstoffreduktion
1994ASTM F1239-94 Standardtestmethoden zur Sauerstoffpräzipitationscharakterisierung von Siliziumwafern durch Messung der interstitiellen Sauerstoffreduktion