ASTM F1239-94
Standardtestmethoden zur Sauerstoffpräzipitationscharakterisierung von Siliziumwafern durch Messung der interstitiellen Sauerstoffreduktion

Standard-Nr.
ASTM F1239-94
Erscheinungsdatum
1994
Organisation
American Society for Testing and Materials (ASTM)
Zustand
ersetzt durch
ASTM F1239-02
Letzte Version
ASTM F1239-02

ASTM F1239-94 Normative Verweisungen

  • ASTM D1193 Standardspezifikation für Reagenzwasser*1999-03-30 Aktualisieren
  • ASTM F1188 
  • ASTM F416 
  • ASTM F612 
  • ASTM F951 Standardtestmethode zur Bestimmung der radialen interstitiellen Sauerstoffschwankung in Siliziumwafern*2002-01-10 Aktualisieren

ASTM F1239-94 Veröffentlichungsverlauf

  • 1970 ASTM F1239-02
  • 1994 ASTM F1239-94 Standardtestmethoden zur Sauerstoffpräzipitationscharakterisierung von Siliziumwafern durch Messung der interstitiellen Sauerstoffreduktion
Standardtestmethoden zur Sauerstoffpräzipitationscharakterisierung von Siliziumwafern durch Messung der interstitiellen Sauerstoffreduktion



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