BS EN 62047-3:2006
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Dünnschicht-Standardteststück für Zugversuche

Standard-Nr.

BS EN 62047-3:2006

Erscheinungsdatum

2006

Organisation

British Standards Institution (BSI)

Letzte Version

BS EN 62047-3:2006

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05/30104054 DC-2005

BS EN 62047-3:2006 Normative Verweisungen

• IEC 62047-2 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 2: Zugprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
• ISO 17561 Feinkeramik (Hochleistungskeramik, Hochleistungskeramik) – Prüfverfahren für Elastizitätsmodule monolithischer Keramik bei Raumtemperatur durch Schallresonanz*， 2016-07-01 Aktualisieren

BS EN 62047-3:2006 Veröffentlichungsverlauf

• 2006 BS EN 62047-3:2006 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Dünnschicht-Standardteststück für Zugversuche