GB/T 19921-2005
Testmethode für Partikel auf Siliziumwaferoberflächen (Englische Version)
- Standard-Nr.
- GB/T 19921-2005
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 2005
- Organisation
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Zustand
- 2019-07
- ersetzt durch
- GB/T 19921-2018
- Letzte Version
- GB/T 19921-2018
GB/T 19921-2005 Normative Verweisungen
- ASTM F1620-96 Standardpraxis zur Kalibrierung eines Scanning-Oberflächeninspektionssystems unter Verwendung monodisperser Polystyrol-Latexkugeln, die auf polierten oder epitaktischen Waferoberflächen abgeschieden werden
- ASTM F1621-96 Standardpraxis zur Bestimmung der Positionsgenauigkeitsfähigkeiten eines scannenden Oberflächeninspektionssystems
GB/T 19921-2005 Veröffentlichungsverlauf
- 2018 GB/T 19921-2018 Prüfmethode für Partikel auf polierten Siliziumwaferoberflächen
- 2005 GB/T 19921-2005 Testmethode für Partikel auf Siliziumwaferoberflächen
