GB/T 43493.2-2023 Zerstörungsfreie Prüfung und Identifizierungskriterien für Defekte in homoepitaktischen Siliziumkarbid-Wafern für Leistungsbauelemente von Halbleiterbauelementen. Teil 2: Optisches Verfahren zur Defekterkennung (Englische Version)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
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GB/T 43493.2-2023
GB/T 43493.2-2023 Veröffentlichungsverlauf
2023GB/T 43493.2-2023 Zerstörungsfreie Prüfung und Identifizierungskriterien für Defekte in homoepitaktischen Siliziumkarbid-Wafern für Leistungsbauelemente von Halbleiterbauelementen. Teil 2: Optisches Verfahren zur Defekterkennung