GB/T 43493.3-2023
Zerstörungsfreie Prüfung und Identifizierungskriterien für Defekte in homoepitaktischen Siliziumkarbid-Wafern für Leistungsbauelemente von Halbleiterbauelementen. Teil 3: Photolumineszenz-Erkennungsverfahren für Defekte (Englische Version)