DIN EN ISO 23216 E:2022-08
Kohlenstoffbasierte Filme Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme mittels spektroskopischer Ellipsometrie (Entwurf)
- Standard-Nr.
- DIN EN ISO 23216 E:2022-08
- Erscheinungsdatum
- 1970
- Organisation
- /
- Zustand
- ersetzt durch
- DIN EN ISO 23216:2023-01
- Letzte Version
- DIN EN ISO 23216:2023-01
DIN EN ISO 23216 E:2022-08 Veröffentlichungsverlauf
- 2023 DIN EN ISO 23216:2023-01 Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme durch spektroskopische Ellipsometrie (ISO 23216:2021); Deutsche Fassung EN ISO 23216:2022
- 1970 DIN EN ISO 23216 E:2022-08 Kohlenstoffbasierte Filme Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme mittels spektroskopischer Ellipsometrie (Entwurf)
