DIN EN ISO 23216:2023-01 Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme durch spektroskopische Ellipsometrie (ISO 23216:2021); Deutsche Fassung EN ISO 23216:2022
2023DIN EN ISO 23216:2023-01 Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme durch spektroskopische Ellipsometrie (ISO 23216:2021); Deutsche Fassung EN ISO 23216:2022
1970DIN EN ISO 23216 E:2022-08 Kohlenstoffbasierte Filme Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme mittels spektroskopischer Ellipsometrie (Entwurf)