IEC 62047-17:2015
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 17: Bulge-Testverfahren zur Messung der mechanischen Eigenschaften dünner Filme

Standard-Nr.

IEC 62047-17:2015

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

International Electrotechnical Commission (IEC)

Letzte Version

IEC 62047-17:2015

Ersetzen

IEC 47F/210/FDIS:2014

IEC 62047-17:2015 Normative Verweisungen

• IEC 62047-2:2006 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 2: Zugprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

IEC 62047-17:2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2015 IEC 62047-17:2015 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 17: Bulge-Testverfahren zur Messung der mechanischen Eigenschaften dünner Filme