KS C 6520-2021
Komponenten und Materialien von Halbleiterprozessen – Messung der Verschleißeigenschaften mittels Plasma

Standard-Nr.

KS C 6520-2021

Erscheinungsdatum

2021

Organisation

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Letzte Version

KS C 6520-2021

KS C 6520-2021 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 KS C 6520-2021 Komponenten und Materialien von Halbleiterprozessen – Messung der Verschleißeigenschaften mittels Plasma
• 2019 KS C 6520-2019 Komponenten und Materialien von Halbleiterprozessen – Messung der Verschleißeigenschaften mittels Plasma
• 2008 KS C 6520-2008 Komponenten und Materialien von Halbleiterprozessen – Messung der Verschleißeigenschaften durch Plasma