VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2020
Optische Messtechnik an Mikrotopographien – Kalibrierung von flächenmessenden Interferometern und Interferenzmikroskopen zur Formmessung

Standard-Nr.

VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2020

Erscheinungsdatum

2020

Organisation

SCC

Letzte Version

VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2020

VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2020 Veröffentlichungsverlauf

• 2020 VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2020 Optische Messtechnik an Mikrotopographien – Kalibrierung von flächenmessenden Interferometern und Interferenzmikroskopen zur Formmessung
• 2018 VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2018 Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von flaechenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen fuer die Formmessung