VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2018
Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von flaechenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen fuer die Formmessung

Standard-Nr.

VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2018

Erscheinungsdatum

2018

Organisation

VDI - Verein Deutscher Ingenieure

Letzte Version

VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2018

VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2018 Veröffentlichungsverlauf

• 2018 VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2018 Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von flaechenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen fuer die Formmessung