ASTM E2735-14(2020)
Standardhandbuch für die Auswahl der für Röntgen-Photoelektronenspektroskopie-Experimente (XPS) erforderlichen Kalibrierungen

Standard-Nr.

ASTM E2735-14(2020)

Erscheinungsdatum

2020

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Letzte Version

ASTM E2735-14(2020)

ASTM E2735-14(2020) Normative Verweisungen

• ASTM E1078 Standardhandbuch für Verfahren zur Probenvorbereitung und -montage in der Oberflächenanalyse
• ASTM E1127 Standardhandbuch für die Tiefenprofilierung in der Auger-Elektronenspektroskopie
• ASTM E1217 Standardverfahren zur Bestimmung der Probenfläche, die zum detektierten Signal in Auger-Elektronenspektrometern und einigen Röntgen-Photoelektronenspektrometern beiträgt
• ASTM E1523 Standardhandbuch für Ladungskontroll- und Ladungsreferenzierungstechniken in der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
• ASTM E1577 Standardhandbuch für die Berichterstattung über Ionenstrahlparameter, die in der Oberflächenanalyse verwendet werden
• ASTM E1634 Standardhandbuch für die Durchführung von Messungen der Sputterkratertiefe
• ASTM E1636 Standardpraxis zur analytischen Beschreibung von Sputter-Tiefenprofil-Schnittstellendaten durch eine erweiterte Logistikfunktion
• ASTM E1829 Standardhandbuch für den Umgang mit Proben vor der Oberflächenanalyse
• ASTM E2108 Standardpraxis zur Kalibrierung der Elektronenbindungsenergieskala eines Röntgenphotoelektronenspektrometers
• ASTM E995 Standardhandbuch für Hintergrundsubtraktionstechniken in der Auger-Elektronen- und Röntgenphotoelektronenspektroskopie
• ASTM E996 Standardpraxis für die Meldung von Daten in der Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
• ISO 10810 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Richtlinien für die Analyse
• ISO 14606 Chemische Oberflächenanalyse – Sputtertiefenprofilierung – Optimierung unter Verwendung von Schichtsystemen als Referenzmaterialien*， 2022-11-21 Aktualisieren
• ISO 14701 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Messung der Siliziumoxiddicke
• ISO 14976 Technische Berichtigung zum Datenübertragungsformat für die chemische Oberflächenanalyse 1
• ISO 15470 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
• ISO 15472 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen
• ISO 18115-1 Chemische Oberflächenanalyse – Vokabular – Teil 1: Allgemeine Begriffe und Begriffe, die in der Spektroskopie verwendet werden*， 2023-06-01 Aktualisieren
• ISO 18115-2 Chemische Oberflächenanalyse – Vokabular – Teil 2: Begriffe, die in der Rastersondenmikroskopie verwendet werden*， 2021-12-21 Aktualisieren
• ISO 18116 Chemische Oberflächenanalyse – Richtlinien für die Vorbereitung und Montage von Proben für die Analyse
• ISO 18117 Chemische Oberflächenanalyse – Handhabung von Proben vor der Analyse
• ISO 18118 Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Leitfaden zur Verwendung experimentell ermittelter relativer Empfindlichkeitsfaktoren für die quantitative Analyse*， 2024-02-28 Aktualisieren
• ISO 18516 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in strahlbasierten Methoden im Bereich von Nanometern bis Mikrometern
• ISO 19318 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur*， 2021-05-31 Aktualisieren
• ISO 20903 Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Methoden zur Bestimmung von Peakintensitäten und Informationen, die für die Ergebnisberichterstattung erforderlich sind
• ISO 21270 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer – Linearität der Intensitätsskala
• ISO 24237 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Wiederholbarkeit und Konstanz der Intensitätsskala
• ISO/TR 15969 Chemische Oberflächenanalyse – Tiefenprofilierung – Messung der Sputtertiefe*， 2021-03-17 Aktualisieren
• ISO/TR 18392 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Hintergrundbestimmung
• ISO/TR 19319 Oberflächenchemische Analyse – Grundlegende Ansätze zur Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in strahlbasierten Methoden

ASTM E2735-14(2020) Veröffentlichungsverlauf

• 2020 ASTM E2735-14(2020) Standardhandbuch für die Auswahl der für Röntgen-Photoelektronenspektroskopie-Experimente (XPS) erforderlichen Kalibrierungen
• 2014 ASTM E2735-14 Standardhandbuch für die Auswahl der für die Röntgen-Photoelektronenspektroskopie erforderlichen Kalibrierungen 40;XPS41; Experimente
• 2013 ASTM E2735-13 Standardhandbuch für die Auswahl der für Röntgen-Photoelektronenspektroskopie-Experimente (XPS) erforderlichen Kalibrierungen