ISO/TR 19319:2013
Oberflächenchemische Analyse – Grundlegende Ansätze zur Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in strahlbasierten Methoden

Standard-Nr.

ISO/TR 19319:2013

Erscheinungsdatum

2013

Organisation

International Organization for Standardization (ISO)

Letzte Version

ISO/TR 19319:2013

ISO/TR 19319:2013 Veröffentlichungsverlauf

• 2013 ISO/TR 19319:2013 Oberflächenchemische Analyse – Grundlegende Ansätze zur Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in strahlbasierten Methoden
• 2003 ISO/TR 19319:2003 Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Bestimmung der lateralen Auflösung, des Analysebereichs und des vom Analysator betrachteten Probenbereichs