GB/T 41852-2022
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Biege- und Schertestmethoden zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen (Englische Version)

Standard-Nr.
GB/T 41852-2022
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2022
Organisation
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Letzte Version
GB/T 41852-2022

GB/T 41852-2022 Normative Verweisungen

  • IEC 62047-2:2006 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 2: Zugprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

GB/T 41852-2022 Veröffentlichungsverlauf

  • 2022 GB/T 41852-2022 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Biege- und Schertestmethoden zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Biege- und Schertestmethoden zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen



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