GB/T 41852-2022 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Biege- und Schertestmethoden zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen (Englische Version)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Letzte Version
GB/T 41852-2022
GB/T 41852-2022 Normative Verweisungen
IEC 62047-2:2006 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 2: Zugprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
GB/T 41852-2022 Veröffentlichungsverlauf
2022GB/T 41852-2022 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Biege- und Schertestmethoden zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen