DS/ISO 23216:2021
Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme durch spektroskopische Ellipsometrie

Standard-Nr.

DS/ISO 23216:2021

Erscheinungsdatum

2021

Organisation

Danish Standards Foundation

Letzte Version

DS/ISO 23216:2021

DS/ISO 23216:2021 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 DS/ISO 23216:2021 Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme durch spektroskopische Ellipsometrie