DS/IEC/TR 63258:2021
Nanotechnologien – Eine Richtlinie für die Anwendung der Ellipsometrie zur Bewertung der Dicke nanoskaliger Filme

Standard-Nr.

DS/IEC/TR 63258:2021

Erscheinungsdatum

2021

Organisation

Danish Standards Foundation

Letzte Version

DS/IEC/TR 63258:2021

DS/IEC/TR 63258:2021 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 DS/IEC/TR 63258:2021 Nanotechnologien – Eine Richtlinie für die Anwendung der Ellipsometrie zur Bewertung der Dicke nanoskaliger Filme