NF A91-156*NF ISO 23216:2021
Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme durch spektroskopische Ellipsometrie

Standard-Nr.

NF A91-156*NF ISO 23216:2021

Erscheinungsdatum

2021

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF A91-156*NF ISO 23216:2021

NF A91-156*NF ISO 23216:2021 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 NF A91-156*NF ISO 23216:2021 Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme durch spektroskopische Ellipsometrie