ISO 14644-14:2016 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 14: Bewertung der Gebrauchstauglichkeit von Geräten anhand der Partikelkonzentration in der Luft
International Organization for Standardization (ISO)
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ISO 14644-14:2016
ISO 14644-14:2016 Normative Verweisungen
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ISO 14644-3:2005 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 3: Prüfmethoden
ISO 14644-7:2004 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 7: Trenngeräte (Reinlufthauben, Handschuhkästen, Isolatoren und Miniumgebungen)
ISO 14644-9:2012 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach Partikelkonzentration
ISO 8573-8:2004 Druckluft – Teil 8: Prüfverfahren für den Feststoffpartikelgehalt nach Massenkonzentration
JIS B 9926:1991 Reinraum – Prüfmethoden zur Staubentwicklung aus beweglichen Mechanismen
VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Reinraumtechnik – Kompatibilität mit geforderter Sauberkeit und Oberflächenreinheit
ISO 14644-14:2016 Veröffentlichungsverlauf
2016ISO 14644-14:2016 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 14: Bewertung der Gebrauchstauglichkeit von Geräten anhand der Partikelkonzentration in der Luft