BS PD IEC TR 63258:2021
Nanotechnologien. Eine Richtlinie für die Anwendung der Ellipsometrie zur Bewertung der Dicke nanoskaliger Filme

Standard-Nr.

BS PD IEC TR 63258:2021

Erscheinungsdatum

2021

Organisation

British Standards Institution (BSI)

Letzte Version

BS PD IEC TR 63258:2021

BS PD IEC TR 63258:2021 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 BS PD IEC TR 63258:2021 Nanotechnologien. Eine Richtlinie für die Anwendung der Ellipsometrie zur Bewertung der Dicke nanoskaliger Filme