KS I ISO 14644-9:2014
Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach Partikelkonzentration

Standard-Nr.

KS I ISO 14644-9:2014

Erscheinungsdatum

2014

Organisation

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Zustand

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ersetzt durch

KS I ISO 14644-9:2019

Letzte Version

KS I ISO 14644-9:2019

KS I ISO 14644-9:2014 Veröffentlichungsverlauf

• 2019 KS I ISO 14644-9:2019 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit anhand der Partikelkonzentration
• 2014 KS I ISO 14644-9:2014 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach Partikelkonzentration