GB/T 32815-2016
Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie. Spezifikation für das Kriterium des Bulk-Silizium-Piezowiderstandsprozesses (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 32815-2016

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2016

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 32815-2016

GB/T 32815-2016 Normative Verweisungen

• GB 50073 Code für die Gestaltung von Reinräumen
• GB/T 19022 Messmanagementsysteme – Anforderungen an Messprozesse und Messgeräte
• GB/T 26111 Technische Terminologie für mikroelektromechanische Systeme (MEMS).*， 2023-05-23 Aktualisieren

GB/T 32815-2016 Veröffentlichungsverlauf

• 2016 GB/T 32815-2016 Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie. Spezifikation für das Kriterium des Bulk-Silizium-Piezowiderstandsprozesses