ISO 15632:2021
Mikrostrahlanalyse – Ausgewählte instrumentelle Leistungsparameter für die Spezifikation und Überprüfung energiedispersiver Röntgenspektrometer (EDS) zur Verwendung mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder einem Elektronenstrahl-Mikroanalysegerät (EPMA)